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网】当前微电子技术仍将依循“等缩比原理”和“摩尔定律”两条基础定律走下去,在逼近传统硅技术极限中,不断扩展硅的跨学科横向应用(如MEMS等)和更先进应用(量子、分子器件)。而上述微电子技术的两大发展方向正是当前乃至未来20年传感器技术的主要发展方向。 几十年来,微电子...
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