加入日期
2017年07月27日
所属地区
云南省
进展阶段
审批公示
正文内容
项目名称：氮化镓(GaN)外延片及微波功率器件产业化项目
项目概况：氮化镓(GaN)外延片及微波功率器件产业化项目，建设地点位于云南省昆明空港经济区，总占地面积100085m2，总建筑面积36204.65m2。建设两条完整的生产线，年产氮化镓外延片9万片、军用雷达微波功率器件5万枚、5G通信功率器件及其他器件6000万枚。总投资120030万元，其中环保投资1343万元。2017 年 11 月计划
开工建设，2018 年 12 月月底建好完工交付使用。
本项目主要建设内容
类型
建设名称 设计参数 备注
主体工程
生产厂房一 2 层，建筑面积 12648m2
钢结构厂房，层高 8m；1 层
氮化镓外延片和功率器件生产，2 层封装线
生产厂房二 2 层，建筑面积 12648m2
钢结构厂房，层高 8m；1 层氮化镓外延片和功率器件生产，2 层封装线
生产厂房三 2 层，建筑面积 12648m2
钢结构厂房，层高 8m；1 层
氮化镓外延片和功率器件生产，2 层封装线
生产厂房四 2 层，建筑面积 12648m2
钢结构厂房，层高 8m；1 层
氮化镓外延片和功率器件生产，2 层封装线
动力气体厂房 1层，建筑面积876.04m2
钢结构厂房，层高 7.8m，主
要用于存放氮气、氧气、氩气、
氦气、氨气、氢气、硅烷平衡
氮气、氯气、氯氮混合气体、
三氯化硼、一氧化二氮、CF4等气体
贮运工程
化学品库 1层，建筑面积298.76m2
混凝土结构，主要用于存放生产过程中使用的化学品（正胶
显影液、异丙醇、双氧水、Ti腐蚀液、氢氧化钠），为甲类仓库
综合仓库
1 层，建筑面积3495.28m2
混凝土结构，主要用于存放部
分原料（碳化硅衬底、蓝宝石
衬底、硅衬底、三甲基镓、三
甲基铝、光刻胶、去胶液、抛
光液、剥离液、去蜡液、Au 腐
蚀液、电镀金液、金、钛、钛钨、铂）和产品
公用工程
给水工程
新鲜水需要量 28.53 万m3/a
由园区自来水厂供应
排水工程
各种废水：11.59 万 m3/a 经处理后全部回用，不外排
雨水 排入园区雨水管网
供电工程 1500 万 kWh 园区供电
供气系统 16.2 万 m3/a 由园区燃气管网提供
供热系统 1 台 1t/h 燃气热水锅炉
蒸汽经换热站换热为净化空调
管道系统内循环用水进行加
热，蒸汽锅炉天然气耗量75m3/h。
纯水系统 1 套，产水规模 10t/h 位于纯水站
软水系统 1 套，产水规模 1.5t/h 位于锅炉房，给提供锅炉用水
循环冷却系统 660 m3/h 3 台 220 m3/h 冷却塔
冷水机组 共 7 台 3 台 2285MW、4 台 2637MW
洁净系统 4 套风量 72000m3/h
外延 MOCVD 区设备操作区净
化级别为 1000 级，生产设备区
净化 10000 级，封装生产区域
为 10000 级。生产厂房气流组
织为上送下侧回。房间吊顶上
均匀布置高效送风口，房间侧
下壁板上布置格栅回风口。室
外新风经集中处理后与室内回
风混合后经过滤及冷热处理
后，由高效送风口送入洁净室，
回风经格栅风口回至主回风管道。
空压站 900 m3/h 1 台空压机
绿化 19575m2 绿化率 19.56%
消防水池 1 座，500m3 位于综合动力站
综合动力站 3495.28m2
辅助工程
综合办公楼
6 层楼，建筑面积
15347.82m2，最高21.45m
产品展示、办公、会议、院士
工作站及实验工程研究中心等
食堂及倒班宿舍
5 层楼，建筑面积
6406.4m2，最高 18.15m
食堂及员工倒班宿舍，其中一
楼为食堂，2~5 楼为职工宿舍
安检大厅及办公楼
2 层楼，建筑面积2224.4m2，最高 7.8m
一楼对进出生产厂房的员工进
行安检，二楼为生产系统部分员工的办公
环保工程
废气 布袋收尘器
1 套+1#27 米高排气筒，
排气筒位于动力气体厂
处理激光标刻、打孔、划片粉尘
房和四号厂房之间
Scrubber 燃烧器
1 套+2#15 米高排气筒，
排气筒位于动力气体厂
房和四号厂房之间
处理 MOCVD 废气 NH3、H2、CH4
碱液喷淋塔
1 套+3#27 米高排气筒，
排气筒位于动力气体厂
房和四号厂房之间
处理 MOCVD、PECVD 清理废
气 Cl2 和蚀刻废气 Cl2
活性炭吸附装置
1 套+4#27 米高排气筒，
排气筒位于动力气体厂
房和四号厂房之间
处理光刻工序产生的有机废气（VOC）
氟化物裂解反应炉
1 套+5#27 米高排气筒，
排气筒位于动力气体厂
房和四号厂房之间
处理钝化、场板腐蚀产生的氟
化物
锅炉排气筒
1 套+6#25 米高排气筒，
排气筒位于动力气体厂
房和四号厂房之间
外排锅炉燃气废气
油烟净化处理器
1 套+7#20 米高排气筒，
排气筒位于宿舍楼，排
气筒朝南，油烟净化器
安装在食堂厨房
处理食堂油烟
废水
隔油池 1 个，5m3 食堂废水隔油处理
化粪池
1 个为 20m3，一个为10m3
分别位于宿舍楼和办公楼
厂内生产废水预
处理站（中和处理） 1 座，处理规模 150m3/d
位于厂区西北侧
中水站（ICEAS工艺处理）
1座，处理规模490m3/d，
其中清水池一座，容积
为 320m3（可以容纳 1天的中水）
事故应急水池
1 座，400 m3（可以容纳
1 天的所有废水）
位于生产废水预处理设施旁边
噪声处理
减振、隔声、合理布局、
厂区绿化等 /
固废
一般固废暂存处 1 间，50 m2
位于工厂的北面，化学品库旁边
危险废物暂存处 1 间，50 m2
位于工厂的北面，化学品库旁边
围堰有效容（m3）/高度（m）
三甲基镓 5.5/0.2
位于综合仓库，在堆放上述物
料的地方设置一个围堰
三甲基铝
光刻胶
去胶液
抛光液
剥离液
去蜡液
Au 腐蚀液
电镀金液
正胶显影液 3.0/0.2
位于化学品库，在堆放上述物
料的地方设置一个围堰
异丙醇
双氧水
Ti 腐蚀液
项目主要生产设备
序号 设备名称 数量
基本参数或功能描述 厂家信息
1 MOCVD 4 氮化镓生长
Germany
Aixtron
Veeco USA 2
高真空蒸发镀膜设备(Metal)
4 电力规格：AC200V±10%，φ3，50/60Hz Japan ULVAC
3 真空溅射镀膜设备 4
极限真空度：单开分子泵系统时，,8.5x10-6
Pa 开离子泵系统时，8.5x10-7
Pa 扩散泵系统,8x10-4 Pa 2,真空
抽速：从大气达到 7x10-4 Pa,<40 分钟。
3.可制备最大为 φ100mm 的薄膜样品 Japan ULVAC
4 ICP 刻蚀台 4
13.56MHZ 全固态技术;动态谐调 RF 发
生器功率 600-1600W
北方微电子 Japan ULVAC
牛津仪器
5 PECVD 4
工作频率 2.45GHZ 功率范围：2600-3200W
北方微电子
牛津仪器
6 快速退火炉 3
W*L*H 800x1300x1900mm
USA Allwin21 Corp
电力规格：
380V-125A
3?/4W-50/60Hz
7 四探针测试台 2
功率:35W 广州昆德科技
有限公司
可测电阻率：0.001～1000Ω.cm 可测方
块电阻:0.01～10000Ω/□
8 双面曝光机 2
4-6inch，backside lithography，
resolution 0.5um。
Germany SUSS MicroTec
9 投影光刻机 4 PAS 5500-750 resolution 0.13um. Nederland ASML
10 Matrix 105R 等离子去胶机
4 清洗残胶 USA Allwin21 Corp
11 PCT-150 自动上光阻机 3 两轨，带冷板和热板 USA PICOTRACK
12 自动显影台 3 两轨，带冷板和热板 USA PICOTRACK
13 自动上蜡机 2 高温腊 Korea NTS
14 垂直自动减薄机 2 Wafer grinding Korea NTS
15 粗抛机 2 polishing NTS
16 激光划片机 4 cutter 江苏德龙
17 金属剥离机 5 Lift off Austria SSEC
18 SPM 清洗槽和有机清洗 8 Wafer cleaning 河北神通
19 腐蚀槽 3 Wafer cleaning 河北神通
20 Keithley2400 4 testing USA Keithley
21 Keithley4200 直流测试系统
2 testing USA Algilent
22 扫描电子显微镜 2 Process check Japan HITACHI
23 台阶仪 2 Process testing USA Ambios
24 空气共平面 G-S-G 探针测量台
2 Microwave parameter Testing
Cascade Microtech
25 PNA E8363B 高性能矢
量网络分析仪
2 Microwave parameter testing USA Algilent
26 HMDS 预处理烘箱 4
功率:2000W;容器:90L;电源电
压:220V±10;尺寸（mm）:450×450×450
上海劵思实验
仪器
27 电热真空干燥箱 4 30-300℃ 上海实验仪器
28 离子注入机 2 200Kev,large beam current Japan ULVAC
29 电镀台 4 electroplating Au 河北申通
30 Load pull 系统 2 Microwave parameter testing USA EOULU
31 甩干机 5 Rinse 中电 45 所
32 E-beam lithography 2
Resolution 50nm.Overlay
30nm,8 inch stage The UK leica.
33 手动探针台 4 Process testing 河北神通
34 MBE 2 氮化铝生长 北方微电子
35 烤盘炉 4 处理石墨盘
36 XRD(X 光衍射仪) 2 XPertPRO
Panalytical(帕纳科)
37 霍尔测试仪 2 HL5500PC 德仪科技
38 金相显微镜 20 BX51M 利讯科技
39 EL 量測試統 2 Nanometrics-RPMBlue Nanometrics
40 PL 光谱测量 2 ELV1-MP3 宏纲科技公司
41 激光打标机 2 ILS-II-30w 雷晟科技
42 氦气检漏仪 3 UL-1000 Fab Inficon
43 全自动晶片劈裂机 10 芯片开裂 Opto System
44 芯片点测机 10 抽测芯片 李德精仪
45 自动贴膜机 5 倒蓝膜 李德精仪
46 自动扩片机 5 晶片扩大 李德精仪
47 金线打线机 6 打金线
達運工業股份有限公司
48 恒温恒湿测试机组 2 老化筛选 远方科技
49 推拉力机 2 可靠性
達運工業股份有限公司
50 老化工作箱 5 可靠性测试
達運工業股份有限公司
51 高温老化测试台 5 可靠性测试
達運工業股份有限公司
52 Semi-Auto Parts Cleaner 5 PC-001A
锡宬科技有限公司
53 Ebara Dry pump 5 ESA70WD 荏原公司(上海)
54 炉管合金炉 2 金属合金 青岛赛瑞达
55 低温测试机组 5 可靠性测试
達運工業股份有限公司
56 Spectrum Analyzer 1 26.5GHz or 40GHz Agilent
57 Power meter
3 Power load, Attenuators, couplers Agilent 功率计
58 微波功率放大器 2 18GHz or 26.5GHz
59 Microwave signal sweeping source （信号源）
2 40GHz Agilent
60 Oscilloscope 2 Agilent
61 Noise figure analyzer 噪
音分析仪 1 Agilent
62 Microwave probe system 1 Floating
63 ADS software 1
Microwave circuit simulation and 3D
PCB simulation Agilent
64 HFSS 1 3D Electrical-magnetic simulation Ansoft
65 IC-CAP 1 Microwave device modeling
66 Auto-welding/bonding 3 器件封装
67 金硅共融焊接设备 1 大功率器件封装
68 其他辅助生产设施
建设单位：云南凝慧电子科技有限公司
环评单位：湖南景玺环保科技有限公司
| 加入日期 | 2017年07月27日 | 所属地区 | 云南省 | 进展阶段 | 审批公示 |
|---|
正文内容
项目概况：氮化镓(GaN)外延片及微波功率器件产业化项目，建设地点位于云南省昆明空港经济区，总占地面积100085m2，总建筑面积36204.65m2。建设两条完整的生产线，年产氮化镓外延片9万片、军用雷达微波功率器件5万枚、5G通信功率器件及其他器件6000万枚。总投资120030万元，其中环保投资1343万元。2017 年 11 月计划
开工建设，2018 年 12 月月底建好完工交付使用。
本项目主要建设内容
类型
建设名称 设计参数 备注
主体工程
生产厂房一 2 层，建筑面积 12648m2
钢结构厂房，层高 8m；1 层
氮化镓外延片和功率器件生产，2 层封装线
生产厂房二 2 层，建筑面积 12648m2
钢结构厂房，层高 8m；1 层氮化镓外延片和功率器件生产，2 层封装线
生产厂房三 2 层，建筑面积 12648m2
钢结构厂房，层高 8m；1 层
氮化镓外延片和功率器件生产，2 层封装线
生产厂房四 2 层，建筑面积 12648m2
钢结构厂房，层高 8m；1 层
氮化镓外延片和功率器件生产，2 层封装线
动力气体厂房 1层，建筑面积876.04m2
钢结构厂房，层高 7.8m，主
要用于存放氮气、氧气、氩气、
氦气、氨气、氢气、硅烷平衡
氮气、氯气、氯氮混合气体、
三氯化硼、一氧化二氮、CF4等气体
贮运工程
化学品库 1层，建筑面积298.76m2
混凝土结构，主要用于存放生产过程中使用的化学品（正胶
显影液、异丙醇、双氧水、Ti腐蚀液、氢氧化钠），为甲类仓库
综合仓库
1 层，建筑面积3495.28m2
混凝土结构，主要用于存放部
分原料（碳化硅衬底、蓝宝石
衬底、硅衬底、三甲基镓、三
甲基铝、光刻胶、去胶液、抛
光液、剥离液、去蜡液、Au 腐
蚀液、电镀金液、金、钛、钛钨、铂）和产品
公用工程
给水工程
新鲜水需要量 28.53 万m3/a
由园区自来水厂供应
排水工程
各种废水：11.59 万 m3/a 经处理后全部回用，不外排
雨水 排入园区雨水管网
供电工程 1500 万 kWh 园区供电
供气系统 16.2 万 m3/a 由园区燃气管网提供
供热系统 1 台 1t/h 燃气热水锅炉
蒸汽经换热站换热为净化空调
管道系统内循环用水进行加
热，蒸汽锅炉天然气耗量75m3/h。
纯水系统 1 套，产水规模 10t/h 位于纯水站
软水系统 1 套，产水规模 1.5t/h 位于锅炉房，给提供锅炉用水
循环冷却系统 660 m3/h 3 台 220 m3/h 冷却塔
冷水机组 共 7 台 3 台 2285MW、4 台 2637MW
洁净系统 4 套风量 72000m3/h
外延 MOCVD 区设备操作区净
化级别为 1000 级，生产设备区
净化 10000 级，封装生产区域
为 10000 级。生产厂房气流组
织为上送下侧回。房间吊顶上
均匀布置高效送风口，房间侧
下壁板上布置格栅回风口。室
外新风经集中处理后与室内回
风混合后经过滤及冷热处理
后，由高效送风口送入洁净室，
回风经格栅风口回至主回风管道。
空压站 900 m3/h 1 台空压机
绿化 19575m2 绿化率 19.56%
消防水池 1 座，500m3 位于综合动力站
综合动力站 3495.28m2
辅助工程
综合办公楼
6 层楼，建筑面积
15347.82m2，最高21.45m
产品展示、办公、会议、院士
工作站及实验工程研究中心等
食堂及倒班宿舍
5 层楼，建筑面积
6406.4m2，最高 18.15m
食堂及员工倒班宿舍，其中一
楼为食堂，2~5 楼为职工宿舍
安检大厅及办公楼
2 层楼，建筑面积2224.4m2，最高 7.8m
一楼对进出生产厂房的员工进
行安检，二楼为生产系统部分员工的办公
环保工程
废气 布袋收尘器
1 套+1#27 米高排气筒，
排气筒位于动力气体厂
处理激光标刻、打孔、划片粉尘
房和四号厂房之间
Scrubber 燃烧器
1 套+2#15 米高排气筒，
排气筒位于动力气体厂
房和四号厂房之间
处理 MOCVD 废气 NH3、H2、CH4
碱液喷淋塔
1 套+3#27 米高排气筒，
排气筒位于动力气体厂
房和四号厂房之间
处理 MOCVD、PECVD 清理废
气 Cl2 和蚀刻废气 Cl2
活性炭吸附装置
1 套+4#27 米高排气筒，
排气筒位于动力气体厂
房和四号厂房之间
处理光刻工序产生的有机废气（VOC）
氟化物裂解反应炉
1 套+5#27 米高排气筒，
排气筒位于动力气体厂
房和四号厂房之间
处理钝化、场板腐蚀产生的氟
化物
锅炉排气筒
1 套+6#25 米高排气筒，
排气筒位于动力气体厂
房和四号厂房之间
外排锅炉燃气废气
油烟净化处理器
1 套+7#20 米高排气筒，
排气筒位于宿舍楼，排
气筒朝南，油烟净化器
安装在食堂厨房
处理食堂油烟
废水
隔油池 1 个，5m3 食堂废水隔油处理
化粪池
1 个为 20m3，一个为10m3
分别位于宿舍楼和办公楼
厂内生产废水预
处理站（中和处理） 1 座，处理规模 150m3/d
位于厂区西北侧
中水站（ICEAS工艺处理）
1座，处理规模490m3/d，
其中清水池一座，容积
为 320m3（可以容纳 1天的中水）
事故应急水池
1 座，400 m3（可以容纳
1 天的所有废水）
位于生产废水预处理设施旁边
噪声处理
减振、隔声、合理布局、
厂区绿化等 /
固废
一般固废暂存处 1 间，50 m2
位于工厂的北面，化学品库旁边
危险废物暂存处 1 间，50 m2
位于工厂的北面，化学品库旁边
围堰有效容（m3）/高度（m）
三甲基镓 5.5/0.2
位于综合仓库，在堆放上述物
料的地方设置一个围堰
三甲基铝
光刻胶
去胶液
抛光液
剥离液
去蜡液
Au 腐蚀液
电镀金液
正胶显影液 3.0/0.2
位于化学品库，在堆放上述物
料的地方设置一个围堰
异丙醇
双氧水
Ti 腐蚀液
项目主要生产设备
序号 设备名称 数量
基本参数或功能描述 厂家信息
1 MOCVD 4 氮化镓生长
Germany
Aixtron
Veeco USA 2
高真空蒸发镀膜设备(Metal)
4 电力规格：AC200V±10%，φ3，50/60Hz Japan ULVAC
3 真空溅射镀膜设备 4
极限真空度：单开分子泵系统时，,8.5x10-6
Pa 开离子泵系统时，8.5x10-7
Pa 扩散泵系统,8x10-4 Pa 2,真空
抽速：从大气达到 7x10-4 Pa,<40 分钟。
3.可制备最大为 φ100mm 的薄膜样品 Japan ULVAC
4 ICP 刻蚀台 4
13.56MHZ 全固态技术;动态谐调 RF 发
生器功率 600-1600W
北方微电子 Japan ULVAC
牛津仪器
5 PECVD 4
工作频率 2.45GHZ 功率范围：2600-3200W
北方微电子
牛津仪器
6 快速退火炉 3
W*L*H 800x1300x1900mm
USA Allwin21 Corp
电力规格：
380V-125A
3?/4W-50/60Hz
7 四探针测试台 2
功率:35W 广州昆德科技
有限公司
可测电阻率：0.001～1000Ω.cm 可测方
块电阻:0.01～10000Ω/□
8 双面曝光机 2
4-6inch，backside lithography，
resolution 0.5um。
Germany SUSS MicroTec
9 投影光刻机 4 PAS 5500-750 resolution 0.13um. Nederland ASML
10 Matrix 105R 等离子去胶机
4 清洗残胶 USA Allwin21 Corp
11 PCT-150 自动上光阻机 3 两轨，带冷板和热板 USA PICOTRACK
12 自动显影台 3 两轨，带冷板和热板 USA PICOTRACK
13 自动上蜡机 2 高温腊 Korea NTS
14 垂直自动减薄机 2 Wafer grinding Korea NTS
15 粗抛机 2 polishing NTS
16 激光划片机 4 cutter 江苏德龙
17 金属剥离机 5 Lift off Austria SSEC
18 SPM 清洗槽和有机清洗 8 Wafer cleaning 河北神通
19 腐蚀槽 3 Wafer cleaning 河北神通
20 Keithley2400 4 testing USA Keithley
21 Keithley4200 直流测试系统
2 testing USA Algilent
22 扫描电子显微镜 2 Process check Japan HITACHI
23 台阶仪 2 Process testing USA Ambios
24 空气共平面 G-S-G 探针测量台
2 Microwave parameter Testing
Cascade Microtech
25 PNA E8363B 高性能矢
量网络分析仪
2 Microwave parameter testing USA Algilent
26 HMDS 预处理烘箱 4
功率:2000W;容器:90L;电源电
压:220V±10;尺寸（mm）:450×450×450
上海劵思实验
仪器
27 电热真空干燥箱 4 30-300℃ 上海实验仪器
28 离子注入机 2 200Kev,large beam current Japan ULVAC
29 电镀台 4 electroplating Au 河北申通
30 Load pull 系统 2 Microwave parameter testing USA EOULU
31 甩干机 5 Rinse 中电 45 所
32 E-beam lithography 2
Resolution 50nm.Overlay
30nm,8 inch stage The UK leica.
33 手动探针台 4 Process testing 河北神通
34 MBE 2 氮化铝生长 北方微电子
35 烤盘炉 4 处理石墨盘
36 XRD(X 光衍射仪) 2 XPertPRO
Panalytical(帕纳科)
37 霍尔测试仪 2 HL5500PC 德仪科技
38 金相显微镜 20 BX51M 利讯科技
39 EL 量測試統 2 Nanometrics-RPMBlue Nanometrics
40 PL 光谱测量 2 ELV1-MP3 宏纲科技公司
41 激光打标机 2 ILS-II-30w 雷晟科技
42 氦气检漏仪 3 UL-1000 Fab Inficon
43 全自动晶片劈裂机 10 芯片开裂 Opto System
44 芯片点测机 10 抽测芯片 李德精仪
45 自动贴膜机 5 倒蓝膜 李德精仪
46 自动扩片机 5 晶片扩大 李德精仪
47 金线打线机 6 打金线
達運工業股份有限公司
48 恒温恒湿测试机组 2 老化筛选 远方科技
49 推拉力机 2 可靠性
達運工業股份有限公司
50 老化工作箱 5 可靠性测试
達運工業股份有限公司
51 高温老化测试台 5 可靠性测试
達運工業股份有限公司
52 Semi-Auto Parts Cleaner 5 PC-001A
锡宬科技有限公司
53 Ebara Dry pump 5 ESA70WD 荏原公司(上海)
54 炉管合金炉 2 金属合金 青岛赛瑞达
55 低温测试机组 5 可靠性测试
達運工業股份有限公司
56 Spectrum Analyzer 1 26.5GHz or 40GHz Agilent
57 Power meter
3 Power load, Attenuators, couplers Agilent 功率计
58 微波功率放大器 2 18GHz or 26.5GHz
59 Microwave signal sweeping source （信号源）
2 40GHz Agilent
60 Oscilloscope 2 Agilent
61 Noise figure analyzer 噪
音分析仪 1 Agilent
62 Microwave probe system 1 Floating
63 ADS software 1
Microwave circuit simulation and 3D
PCB simulation Agilent
64 HFSS 1 3D Electrical-magnetic simulation Ansoft
65 IC-CAP 1 Microwave device modeling
66 Auto-welding/bonding 3 器件封装
67 金硅共融焊接设备 1 大功率器件封装
68 其他辅助生产设施
建设单位：云南凝慧电子科技有限公司
环评单位：湖南景玺环保科技有限公司
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